乐鱼app官方网站-国内首台12英寸全自动超精密晶圆环切设备正式交付

发布者:乐鱼app官方网站 发布时间:2024-01-26

据“余姚发布”公众号消息,12月29日,宁波芯丰精密科技有限公司国内首台12英寸全自动超精密晶圆环切设备交付仪式在浙江省余姚市举行。

据悉,针对市场对于人工智能及三维堆叠技术的需求,芯丰精密成功研发出国内首台应用于三维集成的12英寸全自动超精密晶圆环切设备。该设备采用先进的高度智能化“控制-自反馈”技术,实现了对晶圆边缘的微米级超精密加工,同时大幅提高了生产效率和产品质量,性能全面对标国际主流标杆产品,部分指标实现超越,能够满足最先进的全自动半导体产线要求,适合先进人工智能芯片的研发工艺需求。

该设备的成功研发,不仅填补了国内市场的空白,也打破了国际垄断和技术壁垒,开启了中国半导体设备制造新篇章。该设备将进入国内头部半导体产线,为半导体制造产业的发展提供了强有力的支持,助力造就更好的“中国芯”。

资料显示,芯丰精密成立于2021年,致力于研发、生产超精密半导体芯片制造设备及相关耗材,产品主要应用于三维堆叠、人工智能、第三代半导体和先进封装等高端半导体制造工艺环节,投资总额超1亿元。现已申请专利70余项,拥有完全自主知识产权。目前,芯丰精密聚焦三维堆叠技术所需的减薄、环切设备及配套耗材,已经全面覆盖6寸、8寸及12寸市场。